電子機器の製造プロセスにおいて欠かすことのできない、各種石英製品を提供しております。半導体をはじめ、LEDや太陽電池、液晶パネルの製造プロセスなど、石英加工品は幅広い業界で使用されています。

大型のシングルタイプ?ダブルタイプの石英槽をはじめ、小型の石英ビーカーに至るまでご要望に応じて様々な形状に対応いたします。また、石英材料以外にも硬質ガラスなどのを使用したビーカー製品などにも対応が可能です。

- ウエハーウエット洗浄工程で使用
- シングル槽?ダブル槽（オーバーフロー)
- 12 インチまで製造可能

照明分野で蓄積された石英の精密加工技術を武器に、高い加工精度と生産性を誇ります。

- 拡散?酸化?膜形成（ＣＶＤ）工程で使用

高精度が要求される管材や板材等の加工は、研削機械で加工を行っており、複雑な形状にも対応が可能です。
石英ガラスや硬質ガラスの輪郭加工をはじめ、溝穴?ネジ穴などの加工など、様々な加工に利用されます。

- 半導体工程にてジョイント部及びウエハーホルダーとして使用

ウエハーの処理に使用する石英ガラス製のボートです。縦型?横型をはじめ小口径向けの石英ハンガー、太陽電池向け特殊ボートなど、幅広く対応しております。 また、修理?洗浄?改造などにも対応可能です。

- 拡散?酸化?膜形成（ＣＶＤ）工程で使用
- 縦型?横型　自動搬送対応型

CVD工程、拡散工程に不可欠な石英ガラス製炉心管です。新しい製品のご提供は当然ながら、炉心管の修理などにも対応させて頂きます。また、縦型以外にも横型の炉心管も各種取り扱っております。

- 拡散?酸化?膜成形（ＣＶＤ）工程で使用
- 8インチまで製造可能