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  • 产品名称:日本原装进口SIMCO思美高,扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635

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  • 产品厂商:SIMCO思美高
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日本原装进口SIMCO思美高,扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635 日本原装进口SIMCO思美高,扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
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SIMCO ION 扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635  的详细先容

SIMCO ION 扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635

5635型Aerobar MP静电消除器是一款超低颗粒兼容产品,用于要求精细颗粒管理小于等于100nm的场所的静电消除,包括先进的半导体制造工艺。

特点

  • 单晶硅电极在全球范围内具有****的采用记录,避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险
  • 通过原始MP(脉冲调制)方法有效地将离子带入目标的高效静电消除
  • 即使在100毫米距离和离子平衡下也可以使用小的潜在摆动特性,而且在棒长度上几乎没有偏差
  • 智能控制电路自动管理离子发生状态和离子平衡
  • 可拆卸1/4圈可更换电极有助于减少维护工时
  • 潜在的摆动非常小的MP方法的特点,设置简易性也有效地作用于小保持在控制标准长离子平衡电位摆动
  • 设置半导体前端EFEM对应的长度条
  • 24 V DC驱动控制器的紧凑设计
  • 高水平的全球支撑网络
 

规范

5635型AeroBar MP
输入电压 24 V DC +/- 10%
输出电压 高达约13.5kv pp可调
安装距离 100毫米至1000毫米(无空气吹扫)
离子生成方法 电晕放电方式
MP(脉冲调制)方式调制频率1?33Hz
离子平衡 自动平衡调整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差异<+/- 10 v 
(600 mm距离)
电极 单晶硅电极可交换
吹扫气体 清洁干燥空气或N 2
*大吹扫压力 310 Kpa
臭氧量 <0.05 ppm(24小时积分值)
信号输出 报警IO开集输出
高度78毫米x深度34毫米x长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外观 ABS树脂

扩展ISO Class 1,10 nm?
关于扩展ISO等级1,10纳米?ION Systems专门定义了清洁度的定义,以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的

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