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产品详情
简单先容:
晶圆背面冷却系统 GR-300系列-四川成都重庆西崎商社区域销售
晶圆背面冷却系统 GR-300系列-四川成都重庆西崎商社区域销售
详情先容:

对那些被静电卡盘系统固定位置的硅片,GR-300系列产品可以控制对硅片背面进行冷却的气体流量。适合使用氦气的冷却系统和使用氩气的气体控制硅片覆盖。
另外可选择配置的质量流量传感器也可以用来监测气体流量。
- 更加稳定和准确的压力控制
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质量流量传感器 (可选配)
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可以配置各种类型的接头
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符合RoHS的环保要求
制造: HORIBA STEC

粤公网安备 51012402000291号