晶圆背面冷却系统GR-300系列四川成都重庆西崎商社区域销售

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晶圆背面冷却系统GR-300系列四川成都重庆西崎商社区域销售

日期：2021-10-19 11:10

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晶圆背面冷却系统 GR-300系列

概要
規格

概要

对那些被静电卡盘系统固定位置的硅片，GR-300系列产品可以控制对硅片背面进行冷却的气体流量。适合使用氦气的冷却系统和使用氩气的气体控制硅片覆盖。

另外可选择配置的质量流量传感器也可以用来监测气体流量。

特征

更加稳定和准确的压力控制
质量流量传感器（可选配）
可以配置各种类型的接头
符合RoHS的环保要求

制造: HORIBA STEC

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