• 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
• 从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
• 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
• 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
• 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
• 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

概要

大气压观察（图1）

• 样品设置在标准大气压环境下（105 Pa）
• 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察
• 而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105 Pa）进行观察

低真空观察（图2）

• 隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析
• 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器

• 项目	内容
  电子枪	预对中灯丝
  检测系统	高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器
  加速电压	5 kV/15 kV
  倍率	×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000）
  观察压力	大气压模式（105 Pa）（装有隔膜时）
  	负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时）
  	低真空模式（数 Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时）
  大样品尺寸	直径55 mm
  大小和重量	主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台） 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2台