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日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
日期:2021-04-13 02:19
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摘要:日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
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- GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的App操作系统。
测量精度 | 1nm(3σ)(采用日立标准晶圆) |
---|---|
晶圆尺寸 | 直径 100mm, 150mm, 200mm |
自动装片装置 | 2个 |
设备尺寸(主体) | 1180(宽)× 2500(长)× 1990(高)毫米 |

粤公网安备 51012402000291号