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日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应

日期:2021-04-13 02:19
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摘要:日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应 日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM)  的详细先容


  • 考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
  • 通过**设备的研发经验,搭载了高精度测量技术和*新的计量应用。
  • 通过光学轴自动化调整,减少了由于操作员熟练度而造成的测量偏差。
  • 更高的图像处理技术,实现Recipe自动测量并提高产能。
  • 新的晶圆搬送系统兼容4,6,8英寸多尺寸晶圆。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的App操作系统。

测量精度 1nm(3σ)(采用日立标准晶圆)
晶圆尺寸 直径 100mm, 150mm, 200mm
自动装片装置 2个
设备尺寸(主体) 1180(宽)× 2500(长)× 1990(高)毫米

粤公网安备 51012402000291号

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