日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应

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日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应

日期：2021-10-26 06:41

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摘要：日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应

供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）的详细先容

考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
通过**设备的研发经验，搭载了高精度测量技术和*新的计量应用。
通过光学轴自动化调整，减少了由于操作员熟练度而造成的测量偏差。
更高的图像处理技术，实现Recipe自动测量并提高产能。
新的晶圆搬送系统兼容4,6,8英寸多尺寸晶圆。

*1: GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的App操作系统。

测量精度	1nm（3σ）（采用日立标准晶圆）
晶圆尺寸	直径 100mm, 150mm, 200mm
自动装片装置	2个
设备尺寸（主体）	1180（宽）× 2500（长）× 1990（高）毫米

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